久草在线资源总站-亚洲色成人网站www永久小说-国产情侣作爱视频免费观看-亚洲ⅴ欧洲第一的日产av-www.猫咪av-免费av在线网-亚洲精品高清国产一久久-91pron在线-亚洲乱码日产精品m-日韩视频一区在线-三级黄色免费网站-国产成人亚洲综合色-a天堂中文字幕-亚洲日韩欧洲无码av夜夜摸-高柳家动漫在线观看-黄色小视频在线免费看-精品国产九九-激情www-精品精品国产自在97香蕉-李丽珍aa一级a毛片

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >北京航空航天大學:研制成功的高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器

北京航空航天大學:研制成功的高靈敏度石墨烯MOEMS諧振壓力傳感器

更新時間:2025-03-10   點擊次數:220次

由懸浮石墨烯制成的納米機械諧振器對壓力變化表現出高靈敏度。然而,由于空氣阻尼,這些設備在非真空環境中表現出明顯的能量損失,以及由于石墨烯的輕微滲透,參考腔內不可避免地出現微弱的氣體泄漏。研究提出了一種利用微電子機械系統技術的新型石墨烯諧振壓力傳感器,其特點是將多層石墨烯膜密封在真空中,并粘附在帶有凹槽的壓敏硅膜上。

這種方法創新性地采用了間接敏感的方法,在大氣中表現出60倍的能量損失,并解決了基底和石墨烯之間長期存在的氣體滲透問題。值得注意的是,所提出的傳感器表現出1.7Hz/Pa的高壓力靈敏度,比硅的同類產品的靈敏度高5倍。


此外,全光封裝腔結構有助于實現6.9×10-5 Pa-1的高信噪比和低溫度漂移(0.014%/?C)。所提出的方法為使用二維材料作為敏感膜的壓力傳感器的長期穩定性和能量損失抑制提供了一個很好的解決方案。


本文報道了MOEMS石墨烯諧振壓力傳感器,其特點是通過陽極鍵合實現了10-3Pa的真空封裝,大大降低了壓力差下基底和石墨烯之間高空氣阻尼和氣體滲透造成的能量損失。總的來說,所提出的傳感器為提高信噪比和實現二維材料諧振傳感器的可靠使用提供了一個有前途的解決方案。

來源:傳感器專家網

服務熱線
13430557816

關注公眾號