MEMS硅壓阻加速度傳感器是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)和硅壓阻效應(yīng)，用于測(cè)量物體線性加速度的微型傳感器件，廣泛應(yīng)用于振動(dòng)監(jiān)測(cè)、沖擊檢測(cè)、姿態(tài)控制等場景。

1. 核心工作原理

基于硅壓阻效應(yīng)：傳感器內(nèi)部的硅敏感結(jié)構(gòu)（如硅梁、質(zhì)量塊）在加速度作用下發(fā)生機(jī)械形變，導(dǎo)致附著在硅結(jié)構(gòu)上的壓敏電阻阻值產(chǎn)生變化；通過惠斯通電橋等電路將阻值變化轉(zhuǎn)換為可測(cè)量的電信號(hào)（如電壓信號(hào)），最終實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的量化檢測(cè)。

2. 關(guān)鍵特點(diǎn)

- 微型化：基于MEMS工藝，體積小、重量輕，可集成到小型設(shè)備中。

- 響應(yīng)速度快：能快速捕捉動(dòng)態(tài)加速度變化，適合高頻振動(dòng)/沖擊場景。

- 測(cè)量范圍廣：可覆蓋從低g（如消費(fèi)電子）到高g（如工業(yè)沖擊、汽車安全）的不同需求。

3. 典型應(yīng)用領(lǐng)域

- 工業(yè)領(lǐng)域：設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)、機(jī)床狀態(tài)診斷、工業(yè)機(jī)器人姿態(tài)控制。

- 汽車領(lǐng)域：安全氣囊觸發(fā)、ESP車身穩(wěn)定系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)監(jiān)測(cè)。

- 消費(fèi)電子：智能手機(jī)計(jì)步、VR/AR設(shè)備姿態(tài)追蹤、平板電腦屏幕旋轉(zhuǎn)。

- 航空航天/：飛行器姿態(tài)控制、引信沖擊檢測(cè)、衛(wèi)星振動(dòng)環(huán)境監(jiān)測(cè)。

森瑟科技專注研發(fā)生產(chǎn)MEMS振動(dòng)加速度傳感器，三軸MEMS沖擊加速度傳感器462-60K性能特點(diǎn)如下：

一、核心性能參數(shù)

1. 量程與沖擊極限

- 封裝：三軸一體封裝

- 測(cè)量范圍：±60Kg（典型值，適用于高頻沖擊場景）。

- 抗沖擊能力：瞬時(shí)沖擊極限達(dá)±100Kg，可承受短時(shí)間加速度環(huán)境。

- 動(dòng)態(tài)響應(yīng)：頻率響應(yīng)范圍 0-10,000Hz（±5%） 和 0-25,000Hz（±3dB），適合捕捉微秒級(jí)沖擊信號(hào) 。

2. 靈敏度與精度

- 標(biāo)稱靈敏度：2μV/g（@10Vdc激勵(lì)電壓，100Hz正弦信號(hào)），輸出信號(hào)需通過電橋放大器放大20-100倍后采集 。

- 橫向靈敏度：≤5%（垂直于敏感軸方向的干擾響應(yīng)），有效降低交叉軸干擾誤差 。

- 溫漂特性：

- 零點(diǎn)溫漂：0-50°C范圍內(nèi)±0.04%FSO/°C（滿量程輸出的百分比） 。

- 靈敏度溫漂：0-50°C范圍內(nèi)±0.1%/°C，需通過溫度補(bǔ)償電路優(yōu)化長期穩(wěn)定性 。

3. 電氣特性

- 激勵(lì)電壓：2-10Vdc（寬范圍供電適配工業(yè)設(shè)備）。

- 輸出類型：模擬差分信號(hào)（惠斯通電橋結(jié)構(gòu)），需外接信號(hào)調(diào)理電路實(shí)現(xiàn)0-5V/4-20mA標(biāo)準(zhǔn)化輸出。

- 功耗：典型值≤5mW（@10Vdc），適合低功耗嵌入式系統(tǒng) 。

二、物理與環(huán)境參數(shù)

1. 封裝與安裝

- 封裝形式：表面貼裝（SMD），尺寸緊湊 。

- 安裝方式：462 型號(hào)可像普通電子元器件一樣通過錫焊直接安裝在 PCB 板上。傳感器底部四周的焊盤用于增強(qiáng)安裝力，以 獲得更好的頻率響應(yīng)和耐受大的沖擊。為了獲得的頻率響應(yīng)，推薦通過強(qiáng)力硬膠將傳感器的殼體粘接在安裝 面上。為避免引入小的安裝諧振，焊接的連線需要輕而細(xì)，并在盡量靠近傳感器的地方固定。注意：該安裝模式 會(huì)導(dǎo)致傳感器的信號(hào)相位倒轉(zhuǎn) 180°。針對(duì)傳感器的嵌入式應(yīng)用，在不影響結(jié)構(gòu)強(qiáng)度的情況下可在設(shè)備上開小孔，將傳感器粘在孔的底部，并用膠灌封，以獲得的性能。如圖：

2. 環(huán)境適應(yīng)性

- 工作溫度：-40°C至+121°C，覆蓋工業(yè)級(jí)應(yīng)用場景 。

- 濕度范圍：0-95%RH（無冷凝），具備防潮設(shè)計(jì)。

- 抗振動(dòng)與沖擊：機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可承受長期振動(dòng)（5-2000Hz，10g RMS）和多次沖擊（100g，半正弦波） 。

3，管腳定義：

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